Молибденовая лодочка в Минске

Молибденовая лодочка для вакуумного напыления и высокотемпературных процессов

Молибденовая лодочка это расходный элемент испарительных систем, предназначенный для резистивного нагрева и испарения металлов, диэлектриков и других материалов в вакуумных установках. Изделие изготавливается из молибдена марок МЧ, МЧВП или Mo-1 методом штамповки с последующей механической обработкой. Рабочая температура достигает 1800C, что позволяет использовать лодочки в процессах термического испарения алюминия, серебра, золота, хрома и кремния.

Конструкция лодочки обеспечивает равномерное распределение температуры по рабочей поверхности. Толщина стенки от 0,2 до 0,5 мм, геометрические размеры подбираются под конкретную модель испарителя. Молибден обладает низким давлением паров при высоких температурах, что исключает загрязнение осаждаемых плёнок материалом лодочки.

Технические характеристики

Основные параметры молибденовых лодочек определяются условиями эксплуатации в вакуумных постах и напылительных камерах:

• рабочая температура от 1200 до 1800C;
• удельное электрическое сопротивление при 20C от 0,052 до 0,057 Оммм/м;
• плотность материала от 10,1 до 10,3 г/см;
• толщина стенки от 0,2 до 0,5 мм;
• ширина лодочки от 8 до 30 мм;
• длина от 40 до 120 мм.

Конструктивные исполнения

Лодочки выпускаются в нескольких типоразмерах, различающихся формой рабочей области и способом монтажа. Плоские лодочки применяются для испарения материалов с низкой температурой плавления, желобчатые для порошковых и гранулированных сред. Борта лодочки предотвращают растекание расплава и направляют поток пара в сторону подложки.

Применение в промышленности

Молибденовые лодочки используются в установках вакуумного напыления для производства оптических покрытий, зеркальных поверхностей, металлизированных плёнок и электродных слоёв. Оборудование, в котором применяются данные элементы, включает вакуумные посты типа ВУП-4, ВУП-5, УВН-71, а также специализированные напылительные комплексы для микроэлектроники.

В металлургии лодочки применяются для испарения легирующих компонентов при нанесении защитных покрытий на инструмент и детали машин. В производстве упаковочных материалов для металлизации полимерных плёнок алюминием. В электронной промышленности для осаждения контактных площадок и проводящих дорожек на подложки.

Условия эксплуатации

Работа лодочек рассчитана на вакуум от 1,310 до 1,310 Па. При нагреве до рабочих температур молибден образует оксидную плёнку, которая испаряется при дальнейшем повышении температуры, поэтому выход на режим должен быть быстрым. Скорость нагрева не должна превышать 50C/с во избежание деформации и растрескивания.

Ресурс лодочки зависит от испаряемого материала и режима термоциклирования. При испарении алюминия срок службы составляет от 20 до 50 циклов, при работе с серебром от 30 до 80 циклов. Перегрев выше 1800C приводит к интенсивному испарению молибдена и сокращению ресурса.

Критерии выбора

При подборе лодочки учитываются габариты испарителя, мощность источника питания и температура плавления испаряемого материала. Для низкотемпературных процессов достаточно лодочки с толщиной стенки 0,2 мм, для высокотемпературных 0,40,5 мм. Ширина рабочей области должна соответствовать размеру подложки для равномерности покрытия.

Вопросы и ответы (FAQ)