Вакуумные пластины в Минске

Вакуумные пластины для вакуумных систем и технологического оборудования

Вакуумные пластины резинотехнические изделия, предназначенные для герметизации разъемных соединений в вакуумных камерах, установках напыления, ионно-плазменного травления и другом оборудовании, работающем при пониженном давлении. Основное отличие от обычных технических пластин низкая газопроницаемость, минимальное газовыделение (outgassing) в условиях вакуума и стойкость к деформации под действием атмосферного давления.

Материал изготавливается на основе вакуумной резины марок 9028, 9388, ИРП-1265, ИРП-1287, а также этилен-пропиленовых (EPDM) и фторкаучуковых (FKM) смесей. Вулканизация проводится в прессах с последующей термообработкой, что обеспечивает однородность структуры и стабильность физико-механических характеристик по всей площади полотна.

Технические характеристики

Ключевые параметры вакуумных пластин регламентируются ГОСТ 7338-90 и техническими условиями производителей. Рабочая температура эксплуатации зависит от марки резины: для стандартных вакуумных смесей диапазон составляет от 30 до +80 C, для фторкаучуковых от 20 до +200 C. Твердость по Шору А варьируется от 40 до 70 единиц, что позволяет подобрать материал под конкретные условия обжатия.

Предел прочности при разрыве достигает от 8 до 12 МПа, относительное удлинение от 250 до 400 %. Коэффициент газопроницаемости по гелию для вакуумных пластин не превышает 1,510 смсм/(смссм рт. ст.), что обеспечивает достижение остаточного давления до 1,310 Па в высоковакуумных системах.

Конструктивные особенности и исполнения

Вакуумные пластины выпускаются в листах толщиной от 2 до 50 мм, шириной от 500 до 1200 мм. Поверхность может быть гладкой или с двусторонним рифлением для улучшения адгезии при склеивании с металлическими фланцами. Поставляются как в виде цельных полотен, так и в виде нарезанных заготовок прокладок, колец, мембран по чертежам заказчика.

Для повышения стойкости к вакуумному газовыделению поверхность пластин может подвергаться дополнительной обработке вакуумной дегазации или нанесению фторполимерного покрытия. Это снижает скорость десорбции газов с поверхности и сокращает время выхода установки на рабочий вакуум.

Области применения

• Уплотнения смотровых окон и люков вакуумных камер в установках магнетронного напыления и термического испарения
• Прокладки фланцевых соединений вакуумных трубопроводов в системах откачки и напуска газов
• Мембраны вакуумных насосов и клапанных узлов дозирующего оборудования
• Амортизирующие подложки в вакуумных захватах и транспортных системах микроэлектронного производства
• Уплотнения шлюзовых камер в линиях вакуумной металлургии и вакуумной сушки
• Защитные покрытия столов и оснастки в установках электронно-лучевой сварки

Критерии выбора

При подборе вакуумной пластины необходимо учитывать предельное остаточное давление в системе, температуру процесса, наличие агрессивных сред и характер нагрузки на уплотнение. Для высоковакуумных систем (до 1,310 Па) применяются пластины из резин ИРП-1265 и ИРП-1287. Для форвакуумных ступеней (до 1,3 Па) достаточно пластин марки 9028. В установках с ионным травлением и плазмохимическим осаждением, где возможно воздействие галогенсодержащих газов, используются фторкаучуковые пластины.

Геометрические размеры уплотнений рассчитываются с учетом степени обжатия от 15 до 25 % это обеспечивает надежную герметизацию без выдавливания материала в вакуумную полость. Для фланцев с коническими канавками типа КФ применяются пластины с фаской, для плоских фланцев стандартные листы с последующей механической обработкой.

Вопросы и ответы (FAQ)