Корзина
Ваша корзина пуста!
Это никогда не поздно исправить :)
Оксид гафния: технические характеристики и применение
Оксид гафния (HfO) тугоплавкое неорганическое соединение с температурой плавления 2758C, относящееся к классу диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью (k 25). Материал поставляется в виде порошка белого цвета с чистотой от 99,0% до 99,99% в зависимости от марки. Кристаллическая структура моноклинная, при нагреве свыше 1700C переходит в тетрагональную фазу.
Физико-химические параметры
Порошок оксида гафния характеризуется насыпной плотностью от 1,5 до 2,5 г/см, удельной поверхностью от 2 до 10 м/г и размером частиц от 0,5 до 50 мкм. Химическая стойкость материала обеспечивает устойчивость к воздействию концентрированных кислот и щелочей при нормальной температуре. Растворение происходит только в плавиковой кислоте или при сплавлении с щелочными реагентами.
| Марка | Чистота, % | Примеси, % | Размер частиц, мкм | Насыпная плотность, г/см |
|---|---|---|---|---|
| ГФО-1 | 99,0 | ZrO 0,5 | от 5 до 50 | от 1,8 до 2,2 |
| ГФО-2 | 99,5 | ZrO 0,2 | от 1 до 20 | от 1,6 до 2,0 |
| ГФО-3 | 99,99 | ZrO 0,01 | от 0,5 до 10 | от 1,5 до 1,9 |
Области применения
Высокая диэлектрическая проницаемость и термическая стабильность определяют использование оксида гафния в следующих технологических процессах:
- производство затворных диэлектриков в МОП-транзисторах с проектными нормами от 28 нм и менее;
- формирование оптических покрытий с высоким показателем преломления (n = 1,92,1) для лазерной оптики и фотолитографического оборудования;
- изготовление термобарьерных покрытий для лопаток газотурбинных двигателей, работающих при температурах до 1400C;
- создание керамических подложек для микроэлектроники с низкой теплопроводностью;
- производство сцинтилляционных детекторов для рентгеновской томографии и позитронно-эмиссионной томографии;
- легирование циркониевой керамики для стабилизации тетрагональной фазы в стоматологической и ортопедической имплантологии.
Условия хранения и меры безопасности
Оксид гафния относится к малоопасным веществам (класс опасности IV). Пыль порошка при вдыхании может вызывать раздражение дыхательных путей, поэтому работы с материалом следует проводить в вытяжном шкафу с использованием респиратора класса FFP2 или FFP3. Хранение осуществляется в герметично закрытой таре при влажности не более 60% и температуре от +5 до +35C. Срок годности не ограничен при соблюдении условий хранения.
Упаковка и фасовка
Материал поставляется в полиэтиленовых вкладышах, помещенных в картонные барабаны или многослойные бумажные мешки. Стандартная фасовка от 0,5 до 25 кг. Для лабораторных нужд доступна расфасовка от 25 до 100 г во флаконы из полипропилена с завинчивающейся крышкой. По запросу возможна отгрузка в вакуумной упаковке для предотвращения контакта с атмосферной влагой.
Вопросы и ответы (FAQ)
Чем оксид гафния отличается от оксида циркония?
Оксид гафния имеет более высокую диэлектрическую проницаемость (25 против 20 у ZrO), температуру плавления 2758C и лучшую термическую стабильность. Эти свойства делают его предпочтительным материалом для затворных диэлектриков в субмикронной электронике.
Какая чистота оксида гафния требуется для оптических покрытий?
Для оптических применений используется материал чистотой не менее 99,9%. Примеси железа и титана снижают пропускание в УФ-диапазоне, поэтому для лазерной оптики рекомендуется марка ГФО-3 с чистотой 99,99%.
Как оксид гафния ведет себя при нагреве в вакууме?
При нагреве в вакууме до 2000C наблюдается частичная диссоциация с образованием субоксидов. Для высокотемпературных применений рекомендуется использование в окислительной атмосфере или с защитным покрытием.
Возможна ли поставка оксида гафния с заданным гранулометрическим составом?
Да, методом воздушной классификации обеспечивается фракционирование частиц в диапазоне от 0,5 до 50 мкм. Допустимое отклонение по верхнему пределу составляет не более 5% от номинального значения.