Плоские серебряные мишени для напыления в Минске

Плоские серебряные мишени для напыления: технические характеристики и применение

Плоские серебряные мишени представляют собой расходные элементы для процессов физического осаждения из газовой фазы (PVD), включая магнетронное распыление и электронно-лучевое напыление. Изделия изготавливаются из серебра высокой чистоты (Ag 99,99%) методом вакуумной плавки с последующей деформационной обработкой, что обеспечивает мелкозернистую структуру и равномерное распределение плотности по объему. Геометрическая точность плоскостности и шероховатость поверхности Ra от 0,8 до 1,6 мкм достигаются финишным фрезерованием и полировкой.

Материал и структура

Для производства применяется серебро марок Ag99,99 и Ag99,995 по ГОСТ 6836-2002. Контроль химического состава проводится методом атомно-эмиссионной спектрометрии. Содержание примесей (Cu, Fe, Pb, Bi, Sb) не превышает 0,005%. Плотность материала составляет 10,49 г/см, удельное электрическое сопротивление 0,016 Оммм/м. Текстура проката ориентирована параллельно плоскости распыления, что обеспечивает стабильную скорость эрозии в диапазоне от 0,8 до 1,2 нм/с при плотности мощности от 5 до 15 Вт/см.

Типоразмеры и допуски

Номенклатура включает прямоугольные и дисковые конфигурации. Прямоугольные мишени выпускаются длиной от 200 до 600 мм, шириной от 100 до 300 мм. Дисковые варианты имеют диаметр от 50 до 200 мм. Толщина варьируется от 3 до 12 мм в зависимости от требуемого ресурса работы. Допуск на линейные размеры составляет 0,1 мм, на толщину 0,05 мм. Отклонение от плоскостности не превышает 0,2 мм на 100 мм длины. Крепежные отверстия выполняются по индивидуальной схеме под конкретную модель магнетрона.

Эксплуатационные параметры

Рабочая температура мишени при непрерывном распылении составляет от 150 до 350C. Максимально допустимая плотность мощности до 30 Вт/см при активном водяном охлаждении тыльной стороны. Коэффициент использования материала достигает 3540% при стандартной конфигурации магнитного поля. Рекомендуемое рабочее давление аргона в камере от 0,1 до 1,0 Па. Скорость распыления при напряжении 400600 В и токе разряда от 2 до 8 А составляет от 0,5 до 2,0 мкм/мин.

Области применения

Серебряные мишени востребованы в следующих технологических процессах:

• Формирование отражающих слоев в светодиодных чипах и оптоэлектронных компонентах
• Нанесение электропроводящих покрытий на керамические подложки в производстве многослойных конденсаторов
• Создание антимикробных покрытий на поверхности медицинских инструментов и имплантатов
• Металлизация полимерных пленок для гибких электронных схем
• Напыление контактных площадок в производстве тонкопленочных фотоэлектрических преобразователей
• Формирование зеркальных покрытий в лазерной оптике и инфракрасной технике

Критерии выбора

При подборе мишени учитываются геометрические параметры вакуумной камеры, конфигурация магнетронной системы и требуемая толщина осаждаемого слоя. Для установок с линейным перемещением подложек целесообразно применять прямоугольные мишени с отношением длины к ширине не менее 2:1. Для стационарных подложек оптимальны дисковые варианты. Толщина выбирается исходя из планируемого количества технологических циклов: ресурс мишени толщиной 6 мм составляет от 200 до 400 часов работы при средней мощности 5 кВт.

Вопросы и ответы (FAQ)