Корзина
Ваша корзина пуста!
Это никогда не поздно исправить :)
Гост:
ТУ 48-19-346-81
Марка:
В-ПМ
Лодочки для термического испарения и напыления
Лодочки представляют собой испарительные элементы резистивного типа, применяемые в установках вакуумного напыления для нанесения тонкопленочных покрытий. Изделия изготавливаются из тугоплавких металлов и сплавов, преимущественно вольфрама, молибдена и тантала, методом штамповки или спекания. Конструкция лодочки обеспечивает локальный нагрев до температур, достаточных для испарения алюминия, серебра, золота, хрома и других материалов в вакуумных камерах.
Конструктивные особенности и материалы
Рабочая поверхность лодочки формирует ванну для размещения испаряемого вещества. Геометрия изделия от плоских пластин с углублением до корытообразных форм с бортами подбирается под конкретный тип напыляемого материала и режим процесса. Толщина стенки варьируется от 0,2 до 1,0 мм, что определяет электрическое сопротивление и, соответственно, температуру нагрева при заданном токе.
Для повышения равномерности испарения и увеличения ресурса на поверхность лодочки может наноситься керамическое покрытие на основе оксида алюминия или циркония. Такая обработка предотвращает растекание расплавленного металла и снижает скорость эрозии стенок. В зависимости от исполнения выделяют лодочки с гладкой поверхностью, с рифлением и с интегрированными перегородками для сегментирования испаряемого материала.
Технические параметры
Ключевыми характеристиками испарительных лодочек являются рабочая температура, удельное сопротивление, теплопроводность и геометрические размеры. Рабочий диапазон температур для вольфрамовых лодочек составляет от 1800 до 3000 C, для молибденовых от 1400 до 2200 C. Питание испарителя осуществляется от источника постоянного тока с напряжением от 5 до 15 В и силой тока от 100 до 800 А в зависимости от сечения лодочки.
| Материал | Рабочая температура, C | Толщина, мм | Типовое применение | Ресурс, циклов |
|---|---|---|---|---|
| Вольфрам | от 1800 до 3000 | от 0,3 до 0,5 | Испарение алюминия | от 20 до 40 |
| Молибден | от 1400 до 2200 | от 0,2 до 0,4 | Испарение серебра | от 15 до 30 |
| Тантал | от 1600 до 2500 | от 0,3 до 0,6 | Испарение хрома | от 25 до 50 |
Применение в промышленных процессах
Испарительные лодочки используются в следующих технологических операциях:
- металлизация зеркальных покрытий в производстве светотехнической продукции;
- нанесение токопроводящих слоев при изготовлении пленочных конденсаторов;
- формирование отражающих покрытий на полимерных подложках в вакуумных установках рулонного типа;
- осаждение функциональных слоев в производстве упаковочных материалов с барьерными свойствами;
- напыление декоративных покрытий на стеклянную и керамическую тару.
Выбор типоразмера лодочки определяется конструкцией испарителя и мощностью вакуумной установки. Для оборудования с горизонтальным расположением испарителей применяются лодочки с шириной от 10 до 30 мм и длиной от 50 до 150 мм. В установках с вертикальной подачей пленки используются удлиненные лодочки с несколькими зонами испарения.
Критерии подбора
При подборе испарительного элемента учитываются температура плавления напыляемого материала, скорость осаждения, требуемая равномерность покрытия и длительность рабочего цикла. Для процессов с высокой производительностью предпочтительны лодочки из вольфрама с керамическим покрытием, обеспечивающие стабильную геометрию ванны на протяжении всего срока службы. Для лабораторных установок и опытных партий допустимо применение молибденовых лодочек без дополнительной обработки.
Совместимость лодочки с испарителем проверяется по посадочным размерам и способу фиксации прижимные планки, винтовые зажимы или пружинные контакты. Электрическое сопротивление лодочки должно соответствовать выходным параметрам источника питания, чтобы обеспечить номинальную температуру нагрева без перегрузки трансформатора.
Вопросы и ответы (FAQ)
Какие материалы можно испарять с помощью вольфрамовых лодочек?
Вольфрамовые лодочки пригодны для испарения алюминия, меди, серебра, золота и большинства металлов с температурой плавления до 2000 C. При наличии керамического покрытия возможно испарение хрома и никеля без химического взаимодействия с материалом лодочки.
Как продлить ресурс испарительной лодочки?
Ресурс увеличивается при соблюдении номинального тока нагрева, исключении термоударов при загрузке материала и использовании лодочек с защитным керамическим слоем. Рекомендуется предварительный прогрев лодочки без материала в течение 23 минут.
Чем отличаются лодочки для рулонных установок от лодочек для камерных систем?
Для рулонных установок применяются удлиненные лодочки с шириной испарительной зоны от 100 до 300 мм, обеспечивающие равномерное осаждение по ширине полотна. Камерные системы используют компактные лодочки с точечной зоной испарения.
Какая толщина лодочки оптимальна для испарения алюминия?
Для испарения алюминия при температуре от 1200 до 1400 C достаточно толщины от 0,3 до 0,5 мм. Более толстые лодочки увеличивают тепловую инерцию и требуют большего тока для выхода на рабочий режим.