Фольга ВЧГ в Минске

Фольга ВЧГ: технические характеристики и применение

Фольга ВЧГ — высокочистая фольга, производимая методом вакуумно-дуговой плавки с последующей холодной прокаткой. Материал отличается минимальным содержанием газовых примесей и неметаллических включений, что обеспечивает стабильность электрофизических параметров в условиях высоких температур и вакуума. ВЧГ-фольга востребована в отраслях, где требования к чистоте материала критичны: микроэлектроника, вакуумная металлургия, производство тонкопленочных покрытий.

Ключевые свойства материала

Основное отличие фольги ВЧГ от стандартных марок — контролируемый уровень остаточных газов (кислород, азот, водород) на уровне 0,001–0,003 % по массе. Это достигается за счет двойного вакуумно-дугового переплава и последующей дегазации в процессе прокатки. Материал характеризуется высокой пластичностью при толщинах 0,01–0,1 мм, что позволяет использовать его в качестве мишеней для распыления, подложек для эпитаксиальных структур и барьерных слоев в многослойных композициях.

Фольга ВЧГ сохраняет рабочие характеристики в интервале температур от –196 до +300 C без заметной деградации структуры. Коэффициент термического расширения — 16,6 10 К, удельное электросопротивление — 0,028 Оммм/м. Материал устойчив к окислению на воздухе до 150 C, что позволяет проводить кратковременные технологические операции без защитной атмосферы.

Технологические параметры и сортамент

Фольга ВЧГ поставляется в рулонах с шириной полосы 50–300 мм и толщиной от 0,01 до 0,2 мм. Допуск по толщине — 5 % для диапазона 0,01–0,05 мм и 3 % для 0,05–0,2 мм. Поверхность материала имеет шероховатость Ra не более 0,4 мкм, что обеспечивает качественную адгезию при нанесении покрытий.

Области применения

Фольга ВЧГ используется в следующих инженерных решениях:

• вакуумно-дуговое и магнетронное напыление — формирование проводящих и барьерных слоев в производстве полупроводниковых приборов;
• изготовление токопроводящих элементов в вакуумных электронных приборах — катодные узлы, экранирующие оболочки;
• производство тонкопленочных резисторов и конденсаторов с повышенными требованиями к стабильности сопротивления;
• создание компенсаторов термического расширения в криогенной технике и системах глубокого охлаждения;
• использование в качестве промежуточных слоев при диффузионной сварке разнородных металлов в аэрокосмической отрасли.

Особенности эксплуатации

При работе с фольгой ВЧГ необходимо учитывать повышенную чувствительность материала к деформационному упрочнению. Резка и штамповка выполняются с применением твердосплавного инструмента при скорости резания 50–80 м/мин. Для предотвращения налипания на валки прокатного стана рекомендуется использовать технологическую смазку на основе вазелинового масла. Хранение материала — в герметичной упаковке с силикагелем при относительной влажности не более 60 %.

Сварка фольги ВЧГ выполняется методами лазерной или электронно-лучевой сварки в среде аргона высокой чистоты (99,998 %). Допустимая плотность тока при длительной эксплуатации — до 2,5 А/мм, при кратковременных перегрузках — до 4 А/мм. Материал не требует дополнительной термообработки после монтажа, что сокращает цикл производства изделий.

Вопросы и ответы