Фольга ВНМ: молибденовая лента для высокотемпературных узлов
Фольга ВНМ — тонколистовой прокат из молибдена марки ВНМ (вакуумно-дуговой плавки), выпускаемый по ТУ 48-19-69 и ГОСТ 2677. Материал сохраняет прочность в восстановительных и инертных средах до 1400–1600 C, имеет температуру плавления около 2620 C и низкий коэффициент линейного расширения. Плотность — 10,2 г/см, модуль упругости — 320–330 ГПа. Лента поставляется в отожжённом или холоднокатаном состоянии с шероховатостью Ra 0,4–1,6 мкм.
Технические параметры
| Параметр | Значение | Условия | Метод контроля | Ед. изм. |
|---|---|---|---|---|
| Толщина | 0,05–0,5 | холодная прокатка | ГОСТ 6507 | мм |
| Предел прочности | 680–900 | 20 C, отжиг | ГОСТ 1497 | МПа |
| Относительное удлинение | 8–20 | 20 C | ГОСТ 1497 | % |
| Рабочая температура | до 1600 | вакуум, аргон | испытания на изгиб | C |
Области применения
- Экраны и нагреватели вакуумных электропечей сопротивления, зоны испарения установок магнетронного напыления.
- Токоподводы и держатели катодов в электронно-лучевых испарителях, узлы ионно-плазменной обработки.
- Термопары вольфрам-рениевого типа: чехлы и спаи в зонах с температурой выше 1200 C.
- Уплотнительные прокладки разъёмов в водородных печах и установках CVD-осаждения.
Технологические особенности
Молибден ВНМ получают вакуумно-дуговым переплавом, что обеспечивает содержание примесей внедрения на уровне: кислород — не более 0,003 %, азот — не более 0,002 %, углерод — не более 0,005 %. Это снижает хрупкость при комнатной температуре и повышает пластичность при изгибе. Фольга толщиной менее 0,1 мм требует резки лазером или электроэрозионным методом — механическая резка кромки вызывает расслоение по границам зёрен.
При нагреве выше 600 C на воздухе молибден интенсивно окисляется с образованием летучего триоксида MoO. Защита обеспечивается вакуумом не хуже 110 Па, аргоном или водородом с точкой росы не выше –40 C. Сварка выполняется в камере с контролируемой атмосферой; для соединения с вольфрамом и керамикой применяют пайку припоями на основе меди и серебра.
Вопросы и ответы
Чем фольга ВНМ отличается от фольги МЧ?
Марка ВНМ выплавляется вакуумно-дуговым методом и содержит меньше примесей внедрения, что даёт более высокую пластичность при комнатной температуре. МЧ получают методом порошковой металлургии, и её фольга менее технологична при гибке.
При какой температуре фольга ВНМ теряет прочность?
Рекристаллизация начинается при 900–1000 C, при 1200 C и выше прочность снижается до 100–150 МПа. В вакууме материал работоспособен до 1600 C, но несущая способность ограничена ползучестью.
Как хранить фольгу ВНМ?
В сухом помещении при влажности не выше 60 % в упаковке из полиэтилена или парафинированной бумаги. Контакт с влагой и кислотами вызывает коррозию по границам зёрен и охрупчивание.
Возможна ли поставка фольги ВНМ с шероховатостью Ra менее 0,4 мкм?
Да, при электрохимической полировке или прокатке валками с зеркальной поверхностью. Такая лента применяется в оптических узлах и мишенях магнетронного распыления.
