Круглые серебряные мишени для напыления И 99.9 в Минске

Круглые серебряные мишени для напыления И 99.9

Круглые серебряные мишени для напыления И 99.9 — это прецизионные расходные элементы для процессов физического осаждения из газовой фазы (PVD), изготавливаемые из серебра марки И 99.9 с содержанием основного металла не менее 99,9 %. Материал соответствует требованиям ГОСТ 6836-80 и применяется для формирования тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления или электронно-лучевого испарения. Чистота 99,9 % обеспечивает воспроизводимость оптических и электрических характеристик осаждаемых слоев, что критично для изделий ответственного назначения.

Технология производства круглых мишеней из серебра И 99.9 включает вакуумную плавку и последующую деформационную обработку, что гарантирует отсутствие газовых включений и равномерную мелкозернистую структуру по всему объему. Плотность материала — 10,49 г/см, удельное электрическое сопротивление — 0,016 Оммм/м. Контроль химического состава проводится методом атомно-эмиссионной спектрометрии на каждой партии. Допуск на геометрические параметры: диаметр — 0,1 мм, толщина — 0,05 мм, что обеспечивает стабильность процесса распыления без дуговых разрядов.

Технические характеристики

Круглые мишени И 99.9 поставляются в диапазоне диаметров от 25 до 200 мм с толщиной от 3 до 12 мм. Рабочая поверхность подвергается механической обработке до шероховатости Ra не более 0,8 мкм, что минимизирует риск возникновения микродуг при высоких плотностях мощности. Оптимальный режим распыления достигается при удельной мощности 5–15 Вт/см в атмосфере аргона с давлением 0,1–1,0 Па. Скорость осаждения серебра при этом составляет 0,5–2,0 нм/с в зависимости от конфигурации магнетрона.

Области применения

Серебряные мишени И 99.9 круглой формы востребованы в производствах, где требуется сочетание высокой электропроводности, отражательной способности и биосовместимости осаждаемых пленок. Основные направления использования:

• Нанесение отражающих слоев в светодиодных и лазерных компонентах, включая зеркала резонаторов и подложки для мощных чипов;
• Формирование электродных структур в тонкопленочных конденсаторах, сенсорных экранах и RFID-метках;
• Создание антимикробных покрытий на медицинском инструменте, катетерах и имплантируемых устройствах;
• Металлизация контактных площадок в полупроводниковых приборах и корпусах микросхем;
• Осаждение промежуточных адгезионных слоев при производстве оптических покрытий на стекле и полимерах.

В процессах магнетронного распыления на установках с балансной и небалансной конфигурацией мишени И 99.9 демонстрируют стабильную скорость эрозии и минимальное количество микрокапель на подложке. При электронно-лучевом испарении материал обеспечивает равномерное распределение толщины пленки на площади до 200 мм. Для увеличения срока службы мишени рекомендуется применять графитовые или медные бэкплейты с индиевым припоем, обеспечивающим тепловой контакт при плотности мощности выше 20 Вт/см.

Серебро И 99.9 характеризуется низким уровнем внутренних напряжений в осажденных пленках, что позволяет наносить слои толщиной до 10 мкм без риска отслаивания. Коэффициент отражения в видимом диапазоне достигает 95–97 %, в инфракрасном — свыше 98 % при толщине покрытия от 100 нм. Удельное сопротивление пленок, осажденных из мишеней данной чистоты, составляет 0,018–0,025 Оммм/м, что приближается к значениям объемного металла.

Вопросы и ответы