Круглые серебряные мишени для напыления Пл 99.93 в Минске

Круглые серебряные мишени для напыления Пл 99.93: характеристики и применение

Круглые серебряные мишени для напыления Пл 99.93 — это распыляемые катоды из серебра марки Пл 99.93 (чистота 99,93 % Ag) в форме дисков, предназначенные для магнетронного и электронно-лучевого осаждения тонкоплёночных покрытий в вакуумных установках. Материал соответствует требованиям ГОСТ 6836-2002 к серебру повышенной чистоты; суммарное содержание примесей не превышает 0,07 %, что обеспечивает стабильность разряда и воспроизводимость параметров плёнки.

Технические параметры мишеней Пл 99.93

Мишени изготавливают методом вакуумной плавки и горячей деформации с последующей механической обработкой. Плотность материала — не менее 10,4 г/см, что близко к теоретической для серебра (10,49 г/см). Пористость не превышает 0,5 %, что снижает вероятность дуговых разрядов при распылении. Шероховатость рабочей поверхности — Ra 0,8 мкм. Типовые диаметры: 50, 75, 100, 150, 200 мм; толщина 3–8 мм. Отклонение по диаметру — не более 0,1 мм, по толщине — 0,05 мм.

Области применения

Мишени Пл 99.93 применяют в установках магнетронного распыления (например, системы типа «Оратория», MRC, Leybold) для формирования проводящих и отражающих слоёв. Основные направления:

• Микроэлектроника: создание токопроводящих дорожек и контактных площадок в интегральных схемах, включая КМОП-структуры.
• Оптоэлектроника: отражающие покрытия для светодиодов и лазерных диодов, а также прозрачные проводящие слои в тандемных солнечных элементах.
• Стекло и оптика: архитектурные и автомобильные стёкла с низкоэмиссионным покрытием, зеркала для оптических приборов.
• Гибкая электроника: серебряные слои в RFID-антеннах и сенсорных панелях, наносимые на полимерные подложки (ПЭТ, ПИ).
• Медицинские изделия: антибактериальные покрытия на имплантатах и хирургическом инструменте.

Условия эксплуатации и совместимость

Мишени работают в вакуумных камерах при остаточном давлении 10–10 Па. Рабочий газ — аргон высокой чистоты (99,999 %). Типовая мощность магнетрона — 0,5–5 кВт, плотность мощности на поверхности мишени — до 50 Вт/см. Температура мишени в процессе распыления достигает 200–400 C; для отвода тепла применяют медные основания с индиевым контактом. Скорость распыления серебра — 0,5–1,5 нм/с в зависимости от режима. Мишени совместимы с системами магнетронного распыления постоянного тока (DC) и радиочастотного (RF) возбуждения.

Критерии выбора и ресурс

Ресурс мишени определяется глубиной эрозионной канавки и обычно составляет 30–50 % от исходной массы. При достижении неравномерности эрозии более 20 % мишень заменяют. Для контроля качества плёнки измеряют удельное сопротивление (1,6–2,0 мкОмсм для серебра) и адгезию методом скотч-теста. Важно учитывать, что серебро склонно к миграции, поэтому в многослойных структурах его часто комбинируют с барьерными слоями (TiN, TaN).

Вопросы и ответы