Круглые серебряные мишени для напыления Рд99.9 в Минске

Круглые серебряные мишени для напыления Рд99.9

Круглые серебряные мишени для напыления Рд99.9 — это прецизионные расходные элементы для процессов физического осаждения из газовой фазы (PVD), изготавливаемые из серебра высокой чистоты с содержанием основного металла не менее 99,9 %. Материал соответствует требованиям к мишенным заготовкам для магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения, применяемым в производстве тонкопленочных покрытий ответственного назначения.

Мишени Рд99.9 характеризуются минимальным содержанием примесей (суммарно не более 0,1 %), что обеспечивает воспроизводимость состава осаждаемых пленок и исключает риск контаминации функциональных слоев. Структура материала — мелкозернистая, однородная, без пор и раковин; это критично для стабильности скорости распыления и равномерности толщины покрытия по площади подложки.

Технические характеристики и исполнение

Круглые мишени Рд99.9 поставляются в диапазоне диаметров от 25 до 200 мм при толщине 3–10 мм. Геометрические параметры контролируются с допуском по диаметру 0,1 мм, по толщине 0,2 мм. Шероховатость рабочей поверхности — Ra не более 1,6 мкм, что снижает риск дугообразования при реактивном распылении.

Применение в технологических процессах

Серебряные мишени Рд99.9 используются в следующих отраслях и типах оборудования:

• магнетронные распылительные системы постоянного и средневолнового питания для нанесения электропроводящих слоев;
• электронно-лучевые испарители в установках вакуумного напыления;
• производство зеркальных покрытий для светотехники и автомобильной оптики;
• формирование контактных площадок и токопроводящих дорожек в микроэлектронике и производстве тонкопленочных сенсоров;
• осаждение антибактериальных покрытий на медицинские инструменты и имплантируемые изделия;
• нанесение отражающих слоев в инфракрасной оптике и лазерной технике.

Высокая теплопроводность серебра (429 Вт/(мК)) обеспечивает эффективный отвод тепла из зоны распыления, что позволяет работать при повышенных плотностях мощности без локального перегрева мишени. Это особенно важно при длительных процессах напыления в серийном производстве.

Особенности эксплуатации

При работе с мишенями Рд99.9 необходимо учитывать относительно низкую твердость материала (по Виккерсу — 25–30 HV), что требует аккуратного обращения при монтаже и демонтаже. Рекомендуется использовать индиевый или графитовый промежуточный слой для улучшения термического контакта с охлаждаемым катодом. Для предотвращения дугообразования на поверхности мишени следует контролировать парциальное давление кислорода при реактивном распылении.

Серебряные мишени Рд99.9 совместимы с большинством стандартных катодных узлов ведущих производителей вакуумного оборудования. При заказе необходимо указывать точные геометрические размеры, требования к крепежным отверстиям и фаскам, а также тип процесса (DC, MF или RF) для оптимизации микроструктуры заготовки.

Вопросы и ответы