Круглые серебряные мишени для напыления Ср99.99 в Минске

Круглые серебряные мишени для напыления Ср99.99

Круглые серебряные мишени для напыления Ср99.99 — это прецизионные расходные элементы для процессов физического осаждения из газовой фазы (PVD), изготавливаемые из серебра высокой чистоты с массовой долей основного металла не менее 99,99 %. Материал соответствует требованиям ГОСТ 6836-80 и ГОСТ 28595-90 в части химического состава, а геометрические параметры мишеней регламентируются отраслевыми техническими условиями на изделия для вакуумного напыления.

Высокая чистота Ср99.99 обеспечивает минимальное содержание газовых примесей (кислорода, азота) и металлических включений, что критически важно при формировании тонкопленочных покрытий с воспроизводимыми электрофизическими характеристиками. Серебро обладает максимальной электропроводностью среди металлов (удельное сопротивление 1,5910 Омм при 20 C) и высоким коэффициентом отражения в инфракрасном диапазоне, что определяет его применение в оптоэлектронике и микроэлектронике.

Технологические особенности изготовления

Мишени Ср99.99 производятся методом вакуумной плавки с последующей деформационной обработкой и механической доводкой. Структура материала — мелкозернистая, рекристаллизованная, без пор и расслоений. Плотность готового изделия составляет не менее 10,49 г/см. Шероховатость рабочей поверхности Ra не превышает 0,8 мкм, что обеспечивает стабильность скорости распыления и равномерность толщины осаждаемой пленки.

Для круглых мишеней нормируются следующие параметры:

• диаметр — от 25 до 200 мм (типоразмерный ряд зависит от конфигурации магнетрона);
• толщина — от 3 до 12 мм, допуск на разнотолщинность — не более 0,1 мм;
• отклонение от плоскостности — не более 0,05 мм на 100 мм длины;
• чистота поверхности — без окисных пленок, следов смазки и инородных включений.

Применение в промышленных процессах

Круглые серебряные мишени Ср99.99 используются в установках магнетронного распыления постоянного и среднечастотного тока, а также в электронно-лучевых испарителях. Основные области применения — формирование контактных площадок и токопроводящих дорожек в производстве полупроводниковых приборов, светодиодных структур и тонкопленочных солнечных элементов.

В оптической промышленности мишени Ср99.99 применяются для нанесения отражающих слоев на зеркала лазерных резонаторов, инфракрасной оптики и астрономических инструментов. В микроэлектромеханических системах (МЭМС) серебряные пленки используются как электродные слои и элементы коммутации.

Благодаря высокой теплопроводности серебра (429 Вт/(мК)) мишени эффективно отводят тепло из зоны распыления, что позволяет работать при повышенных плотностях мощности без локального перегрева и деформации подложки. Это особенно важно при нанесении покрытий на полимерные пленки и гибкие подложки в рулонных вакуумных установках.

Контроль качества и приемка

Каждая партия мишеней Ср99.99 проходит входной контроль химического состава методом атомно-эмиссионной спектрометрии. Геометрические размеры проверяются микрометром и индикаторной оснасткой, шероховатость — профилометром. На поверхность изделия наносится маркировка с указанием номера плавки и массовой доли серебра.

Условия эксплуатации и хранения

Мишени Ср99.99 предназначены для работы в вакуумных камерах с остаточным давлением не выше 510 Па. Перед установкой в магнетронную систему рекомендуется обезжиривание поверхности этиловым спиртом или ацетоном. Хранение осуществляется в упаковке производителя при температуре 15–25 C и относительной влажности не более 60 % в условиях, исключающих контакт с серосодержащими соединениями, вызывающими потемнение серебра.

При выборе типоразмера мишени необходимо учитывать геометрию магнитного поля магнетрона и требуемую равномерность толщины покрытия на подложке. Для процессов с высокой плотностью мощности рекомендуется использовать мишени толщиной не менее 6 мм с принудительным водяным охлаждением тыльной стороны.

Вопросы и ответы