Круглые серебряные мишени для напыления СрМ в Минске

Круглые серебряные мишени для напыления СрМ — технические характеристики и применение

Круглые серебряные мишени для напыления СрМ — это расходные элементы для магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения, изготовленные из серебра марки СрМ (серебро марокое, содержание Ag не менее 99,99 %). Материал поставляется в форме дисков с точной геометрией, предназначенных для установки в магнетроны постоянного и среднечастотного тока, а также в источники ионно-плазменного напыления.

Серебро СрМ характеризуется высокой электропроводностью (удельное электрическое сопротивление — 1,59 10 Омм), теплопроводностью порядка 430 Вт/(мК) и низким давлением паров при температурах распыления. Эти свойства обеспечивают стабильный режим осаждения плёнок с воспроизводимой толщиной и составом. Для сравнения: чистота 99,99 % минимизирует включения, которые могли бы стать источниками дефектов в тонкоплёночных структурах.

Конструктивные особенности и типоразмеры

Круглые мишени СрМ изготавливаются методом вакуумной плавки с последующей механической обработкой. Стандартный диапазон диаметров — от 25 до 200 мм, толщина — от 3 до 10 мм. Допуск на диаметр составляет 0,1 мм, на толщину — 0,05 мм. Шероховатость рабочей поверхности Ra не превышает 0,8 мкм, что снижает риск дугообразования при реактивном распылении.

Тыльная сторона мишени может иметь фаску или центровочное отверстие для фиксации на водоохлаждаемом катоде. Для обеспечения термического контакта с катодом применяется индиевая прослойка или механическое прижатие через медное основание. При плотности мощности выше 20 Вт/см обязателен прямой контакт с охлаждаемой поверхностью.

Режимы распыления и совместимость

Серебряные мишени СрМ стабильно работают в атмосфере аргона при давлении 0,1–1,0 Па. Оптимальная плотность мощности на постоянном токе — 5–15 Вт/см, при импульсном распылении допустима кратковременная нагрузка до 40 Вт/см. Скорость осаждения при мощности 10 Вт/см и расстоянии подложка–мишень 100 мм составляет 0,5–1,5 нм/с в зависимости от конфигурации магнетрона.

Материал совместим с реактивным распылением в смесях Ar/O для получения плёнок оксида серебра, однако при этом необходимо контролировать парциальное давление кислорода во избежание отравления мишени. Для процессов с высокой плотностью ионного тока рекомендуется использовать мишени толщиной не менее 6 мм, что увеличивает ресурс до 80–120 кВтч на один диск.

Области применения

• Нанесение отражающих и полупрозрачных покрытий в оптике — зеркала, светоделители, интерференционные фильтры.
• Формирование электродных слоёв в тонкоплёночных конденсаторах, сенсорных экранах и фотоэлектрических преобразователях.
• Создание бактерицидных покрытий на медицинских инструментах и поверхностях оборудования для пищевой промышленности.
• Осаждение контактных площадок в микроэлектронике и корпусировании полупроводниковых приборов.
• Производство декоративных и защитных покрытий в ювелирной отрасли и приборостроении.

Критерии выбора и контроль качества

При подборе круглой мишени СрМ учитывают диаметр катода, мощность источника питания и требуемую равномерность плёнки. Для установок с вращающимся магнетроном допустима овальность не более 0,2 мм. Каждая партия сопровождается сертификатом с указанием химического состава, результатов спектрального анализа и данных о плотности материала.

Хранение мишеней СрМ должно исключать контакт с серосодержащими соединениями — серебро склонно к потемнению при длительном воздействии сероводорода. Рекомендуется вакуумная упаковка или хранение в эксикаторе с влагопоглотителем. Перед установкой рабочую поверхность обезжиривают этиловым спиртом без абразивной обработки.

Вопросы и ответы