Круглые серебряные мишени для напыления Зл99.99 в Минске

Круглые серебряные мишени для напыления Зл99.99

Круглые серебряные мишени для напыления Зл99.99 — это прецизионные расходные элементы для процессов физического осаждения из газовой фазы (PVD), изготавливаемые из серебра высокой чистоты с содержанием основного металла не менее 99,99 %. Материал соответствует требованиям ГОСТ 6836–2002 и поставляется с документально подтверждённым химическим составом. Высокая чистота Зл99.99 обеспечивает минимальное содержание примесей (суммарно не более 100 ppm), что критически важно для формирования тонкоплёночных покрытий с воспроизводимыми электрофизическими и оптическими характеристиками.

Геометрия круглых мишеней оптимизирована под стандартные магнетронные и электронно-лучевые источники распыления. Типовой диапазон диаметров — 25–200 мм, толщина — 2–6 мм. Торцевое биение и разнотолщинность контролируются в пределах допусков, что минимизирует неравномерность эрозии и продлевает ресурс мишени. Плотность материала близка к теоретической (10,49 г/см), структура — мелкозернистая, без пор и раковин, что исключает дефекты в виде микродуг и капельной фазы при распылении.

Технические характеристики и особенности распыления

Серебро Зл99.99 характеризуется высокой электропроводностью (удельное сопротивление — 1,59 10 Омм) и коэффициентом отражения в инфракрасном диапазоне более 97 %. При магнетронном распылении на постоянном токе оптимальная плотность мощности составляет 5–20 Вт/см, рабочее давление аргона — 0,1–1,0 Па. Для управления энергией осаждаемых частиц и структурой плёнки применяется режим импульсного распыления (mid-frequency) с частотой 20–100 кГц.

Ключевые параметры процесса напыления серебряных мишеней Зл99.99:

• скорость осаждения — 0,5–3,0 нм/с в зависимости от мощности и конфигурации магнетрона;
• адгезия к подложкам из стекла, кремния, сапфира и полимеров достигается предварительной ионной очисткой;
• шероховатость рабочей поверхности мишени — Ra 0,8 мкм, что снижает риск дугообразования;
• равномерность толщины плёнки на подложке диаметром 100 мм — 5 % при оптимальной геометрии;
• температурный режим распыления — без принудительного охлаждения до 150 C, с водяным охлаждением до 300 C.

Применение в промышленности

Мишени из серебра Зл99.99 востребованы в производствах, где требуется сочетание высокой отражательной способности, низкого удельного сопротивления и биосовместимости. Основные области применения:

• оптоэлектроника — формирование зеркальных покрытий для светодиодных структур и лазерных диодов;
• тонкоплёночная фотоэлектрика — контактные слои в CIGS- и кремниевых солнечных элементах;
• микроэлектроника — барьерные и проводящие слои в корпусировании полупроводниковых приборов;
• медицинская техника — антимикробные покрытия на катетерах, имплантатах и хирургическом инструменте;
• архитектурное остекление — низкоэмиссионные покрытия с селективной оптической характеристикой;
• RFID-антенны и сенсорные экраны — высокопроводящие тонкоплёночные структуры.

Контроль качества и упаковка

Каждая партия круглых серебряных мишеней Зл99.99 проходит входной контроль химического состава методом атомно-эмиссионной спектрометрии. Геометрические параметры проверяются на координатно-измерительной машине. Мишени упаковываются в вакуумную плёнку с влагопоглотителем для предотвращения окисления поверхности при хранении и транспортировке. Допустимый срок хранения в заводской упаковке — 12 месяцев при температуре 15–25 C и относительной влажности не более 60 %.

Вопросы и ответы