Молибденовая фольга МЧВП в Минске


Молибденовая фольга МЧВП: характеристики, применение и сортамент

Молибденовая фольга МЧВП — тонколистовой прокат из молибдена марки МЧВП (молибден чистый высокой плотности, вакуумная плавка). Продукция выпускается толщиной от 0,02 до 0,5 мм, шириной до 300 мм и поставляется в рулонах или мерных полосах. Марка МЧВП регламентируется ТУ 48-19-69-90 и отличается содержанием молибдена не менее 99,96 %, что обеспечивает минимальное газовыделение в условиях высокого вакуума и стабильность физических свойств при нагреве.

Технические параметры фольги МЧВП

Плотность материала — 10,2 г/см. Температура плавления — 2620 C. Предел прочности при растяжении в отожжённом состоянии — 450–600 МПа, в нагартованном — до 900 МПа. Относительное удлинение отожжённой фольги — 15–25 %. Коэффициент линейного расширения в диапазоне 20–1000 C — 5,810 К. Теплопроводность при 100 C — 138 Вт/(мК). Удельное электрическое сопротивление — 0,054 Оммм/м. Модуль упругости — 330 ГПа.

Фольга МЧВП сохраняет пластичность после отжига в вакууме или водороде при 900–1100 C. Хрупкость при комнатной температуре проявляется только после рекристаллизационного отжига выше 1200 C. Для предотвращения окисления при нагреве на воздухе выше 400 C применяют защитные среды: вакуум, аргон, диссоциированный аммиак.

Сортамент и стандартные размеры

Толщина, ммШирина, ммСостояниеПредел прочности, МПаПрименение
0,02–0,0510–100Отожжённая450–550Вакуумные приборы
0,05–0,150–200Нагартованная700–900Экраны, нагреватели
0,1–0,2100–300Отожжённая450–600Полупроводниковая оснастка
0,2–0,5150–300Нагартованная600–850Лампы, тигельная оснастка

Области применения

  • Вакуумные электронные приборы: экраны, аноды, катодные узлы, геттеры.
  • Полупроводниковая промышленность: оснастка для ионной имплантации, держатели пластин в установках CVD и PVD.
  • Высокотемпературные печи: нагревательные элементы сопротивления, экраны тепловой изоляции в печах с рабочей температурой до 1800 C.
  • Электронная техника: подложки для мощных СВЧ-транзисторов, элементы теплоотводов.
  • Аэрокосмическая отрасль: теплозащитные экраны, элементы сопловых блоков.
  • Стекловарение: электроды и защитные экраны в стекловаренных печах.

Технология производства

Фольга МЧВП изготавливается методом холодной прокатки спечённых или вакуумно-плавленых слябов с промежуточными отжигами в водородной среде при 1000–1200 C. Финальная прокатка выполняется на многовалковых станах (20-валковых) с точностью по толщине 5 %. Кромки обрезаются дисковыми ножницами, поверхность обезжиривается и при необходимости травятся в щелочных растворах.

Вопросы и ответы

Чем фольга МЧВП отличается от фольги МЧ?

МЧВП производится методом вакуумной плавки, что обеспечивает более низкое содержание примесей внедрения (кислород, азот, углерод) и меньшую склонность к хрупкому разрушению при нагреве. Фольга МЧ получается из спечённых заготовок и имеет более высокое газовыделение в вакууме.

При какой температуре можно эксплуатировать фольгу МЧВП без защитной атмосферы?

На воздухе — до 400 C. Выше этой температуры начинается интенсивное окисление с образованием летучего триоксида молибдена. В вакууме или инертной среде рабочая температура достигает 1800 C.

Какой минимальный радиус гиба допустим для фольги МЧВП толщиной 0,05 мм?

Для отожжённой фольги минимальный радиус гиба составляет 2–3 толщины листа, то есть 0,1–0,15 мм. Для нагартованной — 5–6 толщин. Гибку рекомендуется выполнять при температуре не ниже 20 C.

Возможна ли сварка фольги МЧВП?

Да, применяется точечная контактная сварка в среде аргона, электронно-лучевая сварка в вакууме и диффузионная сварка при 1200–1400 C. Перед сваркой поверхность обезжиривают и зачищают для удаления оксидной плёнки.