Молибденовая фольга ТУ 48-19-271-85: технические характеристики и области применения
Молибденовая фольга по ТУ 48-19-271-85 — тонколистовой прокат из молибдена марки МЧ (молибден чистый) и его модификаций, получаемый методом холодной прокатки с промежуточными отжигами в защитной атмосфере. Стандарт регламентирует толщину от 0,02 до 0,5 мм, ширину до 300 мм и длину до 1000 мм. Плотность материала — 10,2 г/см, температура плавления — 2620 C. Фольга поставляется в отожжённом (мягком) или нагартованном состоянии с шероховатостью поверхности Ra 1,6 мкм.
Технические параметры и сортамент
Прокат классифицируется по толщине, состоянию поставки и точности изготовления. Предельные отклонения по толщине для фольги 0,05 мм составляют 0,005 мм. Механические свойства в отожжённом состоянии: предел прочности — 550–700 МПа, относительное удлинение — не менее 15 %. Для нагартованной фольги прочность достигает 900–1100 МПа при удлинении 2–5 %. Содержание основного элемента — не менее 99,9 % Mo; лимитируемые примеси: Fe, Ni, Si, C, O.
| Толщина, мм | Состояние | Предел прочности, МПа | Отн. удлинение, % | Типовое применение |
|---|---|---|---|---|
| 0,02–0,05 | Отожжённая | 550–650 | 15–20 | Геттеры, вакуумные приборы |
| 0,05–0,1 | Нагартованная | 900–1100 | 2–5 | Экраны, подложки |
| 0,1–0,2 | Отожжённая | 600–700 | 12–18 | Электроды, тигли |
| 0,2–0,5 | Нагартованная | 850–1050 | 3–6 | Высокотемпературные узлы |
Области применения
Молибденовая фольга ТУ 48-19-271-85 востребована в высокотемпературных и вакуумных системах благодаря тугоплавкости и низкому давлению паров. Конкретные направления:
- Экраны тепловой защиты в вакуумных печах сопротивления с рабочими температурами до 1800 C.
- Геттеры в электровакуумных приборах: магнетронах, клистронах, рентгеновских трубках.
- Подложки для осаждения тонких плёнок в установках магнетронного напыления.
- Электроды и токоподводы в стекловаренных печах и установках зонной плавки.
- Компоненты ионных имплантеров и ускорителей заряженных частиц.
- Токопроводящие элементы в высокотемпературных нагревателях сопротивления.
Технологические особенности
Фольга из молибдена МЧ обладает низким коэффициентом линейного расширения — 4,9 10 К в диапазоне 20–100 C, что обеспечивает стабильность геометрии при термоциклировании. Теплопроводность — 138 Вт/(мК) при 20 C. Модуль упругости — 330 ГПа. Материал сохраняет прочность при кратковременном нагреве до 1200 C в вакууме или инертной среде; на воздухе окисляется выше 600 C с образованием летучего триоксида MoO.
Обработка фольги включает резку лазером или электроэрозионным методом, формовку при температуре 200–400 C, отжиг в водороде или вакууме при 900–1100 C. Сварка выполняется точечным или электронно-лучевым методом в среде аргона. Паяные соединения с медью, никелем, коваром обеспечивают герметичность вакуумных узлов.
Вопросы и ответы
Какая максимальная рабочая температура молибденовой фольги по ТУ 48-19-271-85?
В вакууме или инертной среде — до 1800 C кратковременно и до 1200 C длительно. На воздухе эксплуатация ограничена 600 C из-за интенсивного окисления.
Поставляется ли фольга в нагартованном состоянии?
Да. Стандарт предусматривает поставку как в отожжённом, так и в нагартованном состоянии. Нагартованная фольга имеет предел прочности 850–1100 МПа и применяется там, где требуется повышенная жёсткость.
Какие примеси нормируются в молибденовой фольге?
ТУ 48-19-271-85 ограничивает содержание железа, никеля, кремния, углерода и кислорода. Суммарная чистота — не менее 99,9 % Mo. Кислород лимитируется на уровне 0,003–0,005 %.
Возможна ли резка фольги в размер заказчика?
Да. Фольга раскраивается лазером, электроэрозионным или механическим методом. Кромка после лазерной резки имеет зону термического влияния 20–50 мкм.
