Оксид металла ЛюО-Д в Минске

Модель:tm2409342

0 р.

Оксид металла ЛюО-Д: полирующий оксид для прецизионной доводки

ЛюО-Д — легированный оксид лантана, выпускаемый в виде полидисперсного порошка с размером первичных частиц 0,3–1,2 мкм и удельной поверхностью 8–14 м/г. В отличие от базового оксида лантана, марка Д проходит кислотную отмывку от карбонатов и силикатов, поэтому массовая доля основного вещества доводится до 99,5–99,9 %. Остаточное содержание оксидов железа и меди не превышает 510 %, что исключает вторичное загрязнение обрабатываемых поверхностей.

Технические параметры

Показатель	Значение	Метод контроля	Влияние на процесс	Примечание
Массовая доля LaO	99,5–99,9 %	ГОСТ 23862.1	Стабильная скорость съёма	После прокалки 900 C
Средний размер частиц D50	0,6–0,9 мкм	Лазерная дифракция	Шероховатость Ra 0,012–0,025 мкм	Без агломератов > 5 мкм
Удельная поверхность	8–14 м/г	БЭТ	Удержание суспензии	Дезагрегация в гликоле
Потери при прокалке	0,8 %	Гравиметрия	Отсутствие газовыделения	1000 C

Области применения

Финишная доводка оптических подложек из стекла К8 и ситалла на станках непрерывного полирования.
Прецизионная обработка пластин монокристаллического кремния диаметром 200–300 мм в линиях CMP.
Полирование рабочих поверхностей твердосплавных волок, калибров и матриц вырубных штампов.
Доводка зеркал лазерных резонаторов и подложек интерференционных фильтров.

Технология приготовления суспензии

Порошок вводят в деионизированную воду или водный гликоль при непрерывном перемешивании, концентрация твёрдой фазы — 40–120 г/л. Для предотвращения седиментации применяют ультразвуковую дезагрегацию 15–20 мин при 40 кГц. Рабочий диапазон pH суспензии — 8,5–10,0; при снижении значения ниже 8 возрастает доля микроцарапин на поверхности стекла и кремния. Температура полировальника поддерживается в интервале 22–28 C, поскольку нагрев выше 35 C вызывает коагуляцию частиц и неравномерный съём.

Условия эксплуатации и хранения

Материал поставляется в герметичной таре; при хранении во влажной среде оксид лантана активно поглощает CO с образованием карбоната, что снижает полирующую способность. Гарантийный срок — 12 месяцев при относительной влажности не выше 60 %. Порошок относится к малоопасным веществам, однако при механическом обращении образует аэрозоль, требующий местной вытяжной вентиляции и респираторов класса FFP2.

Вопросы и ответы

Чем ЛюО-Д отличается от немодифицированного оксида лантана?

Марка Д проходит кислотную отмывку от карбонатов и силикатов, поэтому доля LaO достигает 99,5–99,9 %, а содержание Fe и Cu снижено до 510 %, что критично при полировании кремниевых пластин.

Какая шероховатость достигается на стекле К8?

При концентрации суспензии 80–100 г/л и pH 9,0–9,5 обеспечивается Ra 0,012–0,025 мкм при скорости съёма 0,8–1,5 мкм/мин.

Почему нельзя превышать температуру полировальника 35 C?

Нагрев выше 35 C вызывает коагуляцию частиц оксида лантана, неравномерный съём и рост числа микроцарапин на обрабатываемой поверхности.

Как хранить порошок ЛюО-Д?

В герметичной таре при относительной влажности не выше 60 % и температуре 5–30 C; срок хранения — 12 месяцев, поскольку при доступе CO образуется карбонат лантана.