Оксид металла ТУ 48-4-523-90 в Минске

Оксид металла по ТУ 48-4-523-90: технические характеристики и применение

ТУ 48-4-523-90 регламентирует выпуск оксида индия (InO) — полупроводникового материала n-типа с шириной запрещённой зоны 3,6–3,75 эВ. Документ устанавливает требования к химической чистоте, дисперсности и фазовому составу порошка, предназначенного для вакуумных и плёночных технологий. Продукт по данному ТУ выпускается преимущественно марки «ос.ч.» с массовой долей основного вещества не менее 99,99 %.

Нормативные параметры

Оксид индия по ТУ 48-4-523-90 — кристаллический порошок от белого до светло-жёлтого цвета без видимых включений. Контролируемые показатели:

• массовая доля InO — не менее 99,99 %
• потери при прокаливании — не более 0,5 %
• массовая доля железа — не более 510 %
• массовая доля меди — не более 110 %
• насыпная плотность — 0,8–1,5 г/см
• остаток на сите № 0056 — не более 0,1 %

Гранулометрический состав порошка определяет поведение при магнетронном распылении и вакуумном испарении. Для получения плотных мишеней-распыляемых дисков материал прессуют и спекают при 1400–1550 C в кислородсодержащей атмосфере.

Технические характеристики

Области применения

Основной потребитель оксида индия по ТУ 48-4-523-90 — производство прозрачных проводящих покрытий ITO (indium tin oxide). Материал востребован в следующих технологических цепочках:

• магнетронное напыление прозрачных электродов для ЖК- и OLED-дисплеев
• изготовление сенсорных панелей и тонкоплёночных фотоэлектрических модулей
• производство инфракрасных зеркал и оптических фильтров
• нанесение антистатических покрытий на экраны измерительной аппаратуры
• синтез люминофоров и катализаторов для нефтехимического оборудования

При работе с порошком в условиях вакуумных установок требуется контроль влажности: гигроскопичность оксида индия приводит к газовыделению и деградации плёнки. Хранение — в герметичной таре при относительной влажности не выше 60 %.

Вопросы и ответы