Плоские серебряные мишени для напыления Пд99.9 в Минске

Плоские серебряные мишени для напыления Пд99.9

Плоские серебряные мишени Пд99.9 — это прецизионные расходные элементы для процессов физического осаждения из газовой фазы (PVD), изготавливаемые из серебра марки Пд99.9 с содержанием основного металла не менее 99,9 %. Материал соответствует требованиям ГОСТ 6836–2002 и применяется для формирования тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления, электронно-лучевого испарения и ионно-плазменного напыления.

Высокая чистота серебра Пд99.9 обеспечивает стабильность состава осаждаемой пленки и воспроизводимость электрофизических параметров покрытий. Низкое содержание примесей (суммарно не более 0,1 %) минимизирует риск образования дефектных включений и посторонних фаз в структуре тонкой пленки, что критично для оптических, электронных и медицинских применений.

Технические характеристики плоских мишеней Пд99.9

Плоские мишени из серебра Пд99.9 поставляются в виде дисков, прямоугольных пластин и квадратных элементов с шероховатостью рабочей поверхности Ra не более 1,6 мкм. Геометрические параметры подбираются под конкретную конфигурацию магнетрона или испарительной ячейки. Типовой диапазон толщин — от 3 до 12 мм, что обеспечивает достаточный ресурс работы при сохранении жесткости и плоскостности.

Серебро Пд99.9 характеризуется высокой электропроводностью (удельное сопротивление — 1,59 10 Омм) и теплопроводностью (429 Вт/(мК)), что позволяет эффективно отводить тепло из зоны распыления и поддерживать стабильный режим осаждения при высоких плотностях мощности. Плотность материала — 10,49 г/см, температура плавления — 961,9 C.

Применение плоских мишеней Пд99.9

Мишени из серебра Пд99.9 используются в следующих технологических процессах и отраслях:

• Нанесение отражающих покрытий на оптические элементы — зеркала, световоды, лазерные резонаторы;
• Формирование электродных слоев в тонкопленочных конденсаторах, пьезоэлектрических устройствах и MEMS-структурах;
• Создание бактерицидных покрытий на медицинских инструментах, имплантатах и поверхностях оборудования для пищевой промышленности;
• Металлизация контактных площадок в производстве полупроводниковых приборов и солнечных элементов;
• Нанесение проводящих слоев на гибкие подложки в электронике и сенсорике.

Благодаря высокой чистоте и однородности структуры, мишени Пд99.9 обеспечивают равномерную скорость распыления и минимальное количество микрокапель в потоке осаждаемого материала. Это особенно важно при формировании многослойных оптических систем, где требуется точный контроль толщины и показателя преломления каждого слоя.

Особенности эксплуатации

При работе с плоскими серебряными мишенями Пд99.9 необходимо учитывать высокую пластичность материала. Для предотвращения деформации и коробления в процессе распыления рекомендуется обеспечивать равномерный теплосъем через охлаждаемую подложку держателя. Максимальная рабочая плотность мощности для магнетронного распыления составляет 20–40 Вт/см в зависимости от конструкции магнетрона и интенсивности охлаждения.

Серебро Пд99.9 склонно к образованию сульфидной пленки на поверхности при контакте с серосодержащими соединениями. Перед установкой мишени в вакуумную камеру рекомендуется проводить финишную очистку рабочей поверхности и хранить изделия в герметичной упаковке с влагопоглотителем.

Вопросы и ответы