Плоские серебряные мишени для напыления Ср99.99 в Минске

Плоские серебряные мишени для напыления Ср99.99

Плоские серебряные мишени марки Ср99.99 — прецизионные расходные элементы для процессов физического осаждения из газовой фазы (PVD), применяемые в вакуумных установках магнетронного и электронно-лучевого напыления. Материал соответствует высокой пробе 999.9 — содержанию серебра не менее 99.99 % по массе, что обеспечивает воспроизводимость оптических, электрических и барьерных свойств формируемых тонкопленочных покрытий.

Мишени изготавливаются методом вакуумной плавки с последующей деформационной обработкой и механической доводкой. Плоский формат — прямоугольные или квадратные пластины с допуском по толщине 0.5 мм и шероховатостью рабочей поверхности Ra 1.6 мкм. Контроль химического состава проводится методом атомно-эмиссионной спектрометрии; содержание примесей (Cu, Fe, Pb, Bi, Sb) нормируется в пределах 10–50 ppm суммарно.

Технические характеристики

Ключевые параметры плоских мишеней Ср99.99 определяются условиями распыления и требованиями к однородности пленки:

• плотность — 10.49 г/см (теоретическая, не ниже 99.5 % от номинала);
• удельное электрическое сопротивление — 1.59 10 Омсм при 20 C;
• температура плавления — 961.9 C;
• скорость распыления в аргоне при плотности мощности 5 Вт/см — 0.35–0.45 нм/с;
• чистота — 99.99 %, аттестация по ТУ 48-1-01-88 или аналогам.

Плоская геометрия обеспечивает равномерное распределение эрозионной зоны при использовании магнетронов с протяженным катодом. Для увеличения коэффициента использования материала применяются мишени с фаской по периметру и системой водяного охлаждения тыльной стороны.

Применение в промышленности

Серебряные мишени Ср99.99 востребованы в производствах, где требуется сочетание высокой электропроводности, отражательной способности и биосовместимости покрытий:

• оптоэлектроника — формирование зеркальных слоев в светодиодных и лазерных структурах;
• микроэлектроника — контактные площадки и межсоединения в полупроводниковых приборах;
• тонкопленочная фотоэлектрика — тыльные контакты в CIGS- и кремниевых солнечных элементах;
• медицинская техника — антибактериальные покрытия на инструментах и имплантируемых устройствах;
• архитектурное остекление — низкоэмиссионные и солнцезащитные многослойные системы.

В процессах магнетронного распыления на постоянном токе мишени Ср99.99 демонстрируют стабильную дугостойкость при плотностях тока до 10 А/дм. Для реактивного напыления в среде кислорода или азота требуется контроль парциального давления реакционного газа во избежание отравления мишени и снижения скорости осаждения.

Конструктивные исполнения

Плоские мишени поставляются в нескольких типоразмерах, адаптированных под стандартные магнетронные узлы:

Допускается изготовление мишеней нестандартной геометрии — с отверстиями под крепеж, пазами для термокомпенсации и скругленными кромками. Тыльная сторона обрабатывается с шероховатостью Ra 3.2 мкм для обеспечения теплового контакта с охлаждаемой подложкой.

Условия эксплуатации

Рабочий ресурс мишени Ср99.99 определяется глубиной эрозионной канавки, которая не должна превышать 60–70 % исходной толщины. При превышении этого значения возрастает риск локального перегрева и деформации пластины. Рекомендуемый остаточный слой — 2–3 мм для типоразмеров толщиной 6–10 мм.

Для продления срока службы применяется ротация мишени или использование нескольких зон распыления. Контроль равномерности толщины пленки на подложке осуществляется кварцевым датчиком; отклонение не превышает 3 % по площади 150 150 мм при правильно подобранном магнитном поле.

Вопросы и ответы