Резистивные сплавы в порошках РТР-24-73-3 в Минске

Резистивные сплавы в порошках РТР-24-73-3: прецизионные материалы для тонкоплёночных резисторов

Порошковые резистивные сплавы марки РТР-24-73-3 представляют собой гомогенизированные металлургические композиции на основе системы никель–хром–кремний–марганец, предназначенные для вакуумного и магнетронного напыления тонкоплёночных резистивных элементов. Технические условия РТР-24-73-3 регламентируют гранулометрический состав, насыпную плотность и химическую однородность порошка, что напрямую определяет воспроизводимость удельного поверхностного сопротивления плёнки после отжига.

В отличие от литых резистивных сплавов, порошковая форма РТР-24-73-3 обеспечивает равномерное распределение легирующих элементов по объёму шихты и стабильное испарение при термическом напылении. Это критично для производства прецизионных чип-резисторов типоразмеров 0402–1206, где допуск по номиналу не превышает 0,1 %.

Технические характеристики порошка РТР-24-73-3

• Фракционный состав — 40–100 мкм, содержание основной фракции не менее 85 %
• Насыпная плотность — 3,8–4,6 г/см
• Удельное сопротивление спечённого слоя — 1,8–2,4 мкОмм
• Температурный коэффициент сопротивления (ТКС) — от –25 до +50 ppm/C в диапазоне –60…+155 C
• Массовая доля кислорода — не более 0,15 %
• Точка плавления лигатуры — 1380–1420 C

Области применения

Порошок РТР-24-73-3 применяется в установках магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения при изготовлении резистивных слоёв для гибридных интегральных схем (ГИС), тонкоплёночных аттенюаторов СВЧ-трактов, делителей напряжения в измерительных усилителях и прецизионных датчиках давления. В авионике и системах телеметрии материал обеспечивает стабильность номинала при циклических термоударах от –60 до +125 C.

В производстве резисторных сборок для АСУ ТП и промышленной автоматики порошок наносится методом трафаретной печати с последующим вжиганием в толстоплёночные структуры на керамике AlO-ВК94. Совместимость с фотолитографией позволяет формировать резистивные элементы с точностью линейных размеров 5 мкм.

Технологические параметры напыления

Условия хранения и подготовки

Порошок РТР-24-73-3 поставляется в герметичной таре с заполнением аргоном. Перед загрузкой в испаритель рекомендуется вакуумная дегазация при 200–250 C в течение 30–40 минут для удаления адсорбированной влаги и газов. Хранение — в сухом помещении при относительной влажности не выше 60 % и температуре 15–25 C. Гарантийный срок сохраняемости — 24 месяца с даты изготовления.

Вопросы и ответы