Корзина
Ваша корзина пуста!
Это никогда не поздно исправить :)
Соединения рутения по ТУ 6-09-05-885-78: трихлорид и хлоридные комплексы рутения
ТУ 6-09-05-885-78 распространяется на соединения рутения, выпускаемые для нужд электронной, химической и каталитической промышленности. Основной продукт по данному техническому условию — рутения(III) хлорид (RuCl), а также его гидратированные формы и солянокислые растворы, используемые как прекурсоры для нанесения рутенийсодержащих покрытий и синтеза координационных соединений. Документ нормирует массовую долю основного вещества, содержание примесей цветных металлов и регламентирует упаковку, обеспечивающую сохранность гигроскопичного продукта.
Технические характеристики и нормируемые параметры
Рутения трихлорид представляет собой кристаллический порошок от тёмно-коричневого до чёрного цвета, хорошо растворимый в воде и спиртах с образованием кислых растворов. Вещество гигроскопично, при хранении на воздухе поглощает влагу, поэтому герметичность тары — критическое условие сохранения заявленной концентрации. Содержание рутения в пересчёте на сухое вещество составляет не менее 45–48 % в зависимости от формы поставки (безводная или гидрат).
| Показатель | Норма | Метод контроля | Влияние на процесс | Примечание |
|---|---|---|---|---|
| Массовая доля Ru | 45 % | гравиметрия | расчёт загрузки прекурсора | в пересчёте на сухое вещество |
| Примеси Fe, Cu, Ni | 0,01 % | ААС / ИСП-МС | чистота катализатора | суммарно |
| Растворимость в воде | полная | визуальный | приготовление растворов | без опалесценции |
| Потери при высушивании | 2 % | гравиметрия | дозировка по массе | 105 C |
| pH водного раствора | 1,5–3,0 | потенциометрия | коррозионная активность | 1 % раствор |
Области применения
- Нанесение рутенийсодержащих резистивных и барьерных слоёв в технологии тонкоплёночных интегральных микросхем.
- Приготовление катализаторов гидрирования и окисления для реакторов синтеза в нефтехимии.
- Электрохимическое осаждение рутениевых покрытий на титановые аноды установок электрохимической защиты.
- Синтез координационных соединений и металлоорганических прекурсоров для MOCVD-установок.
- Изготовление электродов для хлорных электролизёров с оксидно-рутениевым активным слоем.
Условия хранения и обращения
Продукт хранят в герметичной таре из стекла или полиэтилена в сухом помещении при температуре не выше 25 C, вдали от источников нагрева. При вскрытии тары возможно поглощение влаги, что изменяет фактическую концентрацию рутения, поэтому перед дозированием рекомендуется контрольная проверка массы. Работы проводят в вытяжном шкафу с использованием средств индивидуальной защиты, поскольку пыль и растворы соединений рутения относятся к веществам повышенной токсичности.
Вопросы и ответы
Чем регламентируется качество соединений рутения?
Качество нормируется ТУ 6-09-05-885-78, которое устанавливает массовую долю рутения, лимит примесей цветных металлов, растворимость и потери при высушивании.
Почему рутения трихлорид поставляют в герметичной таре?
Соединение гигроскопично: при контакте с влагой воздуха меняется масса навески и фактическая концентрация рутения, что искажает дозировку при приготовлении растворов.
Для каких процессов подходит солянокислый раствор RuCl?
Раствор применяют для пропитки носителей при изготовлении катализаторов, а также для электрохимического нанесения рутениевых покрытий на титановые аноды.
Как контролируют содержание примесей?
Примеси железа, меди и никеля определяют методами атомно-абсорбционной спектрометрии или ИСП-МС с суммарным лимитом не более 0,01 %.