Нитрат индия In(NO): соли металлов для прецизионного синтеза и электроники
Нитрат индия In(NO) — неорганическая соль металла, существующая в виде кристаллогидратов, преимущественно тригидрата In(NO)3HO и пентагидрата In(NO)5HO. Соединение образуется при растворении металлического индия или его оксида InO в азотной кислоте с последующей кристаллизацией. В отличие от галогенидов индия, нитрат хорошо растворим в воде и полярных растворителях, что делает его ключевым прекурсором для жидкофазных методов нанесения функциональных покрытий.
Физико-химические характеристики
Безводный In(NO) неустойчив и при нагреве выше 200 C разлагается до оксида индия InO с выделением диоксида азота NO и кислорода. Именно это свойство используется в золь-гель технологии и пиролизном осаждении. Кристаллогидраты плавятся в интервале 70–100 C в зависимости от числа молекул воды. Водные растворы имеют кислую реакцию (pH 2–3 при концентрации 0,1 моль/л) вследствие гидролиза катиона In.
| Параметр | In(NO)3HO | In(NO)5HO | Безводный In(NO) | Единица |
|---|---|---|---|---|
| Молярная масса | 354,87 | 390,90 | 300,83 | г/моль |
| Содержание In | 32,4 | 29,4 | 38,2 | % масс. |
| Растворимость в воде (20 C) | высокая | высокая | гидролиз | — |
| Температура разложения | 80–120 | 70–100 | 200–250 | C |
| Чистота (квалификация) | 99,9–99,999 | 99,9–99,99 | 99,99 | % (металл) |
Технологические применения
Основной потребитель нитрата индия — производство прозрачных проводящих покрытий на основе оксида индия-олова (ITO). В процессах центрифугования и спрей-пиролиза раствор In(NO) наносится на подложки из боросиликатного стекла или кварца с последующим отжигом при 400–550 C. Получаемые плёнки ITO толщиной 100–300 нм обеспечивают поверхностное сопротивление 10–30 Ом/кв. при светопропускании свыше 85 % в видимом диапазоне.
В микроэлектронике нитрат индия применяется для формирования буферных слоёв InO в тонкоплёночных транзисторах и газовых сенсорах на NO и CO. Золь-гель метод с использованием In(NO) позволяет получать нанокристаллический InO с размером зерна 8–15 нм, что повышает чувствительность сенсорных элементов.
- Пиролизное осаждение ITO-покрытий для ЖК-дисплеев и OLED-панелей
- Синтез нанопорошков InO для газочувствительных сенсоров
- Легирование люминофоров и сцинтилляторов на основе индатов
- Прекурсор для получения InP и InGaAs методами MOCVD
- Катализаторы селективного восстановления NOx в системах очистки выхлопных газов
- Электролиты для нанесения индиевых покрытий в гальванотехнике
Условия хранения и транспортировки
Нитрат индия хранится в герметичной таре из полиэтилена или фторопласта при температуре не выше 25 C вдали от восстановителей, горючих материалов и органических растворителей. Кристаллогидраты гигроскопичны и при контакте с воздухом поглощают влагу, что изменяет стехиометрию. Транспортировка осуществляется в соответствии с классификацией окислителей (класс опасности 5.1 по ДОПОГ/ADR при перевозке безводной формы).
Вопросы и ответы
Какая квалификация нитрата индия требуется для синтеза ITO-покрытий?
Для получения прозрачных проводящих плёнок с поверхностным сопротивлением менее 20 Ом/кв. применяется In(NO) квалификации 99,99 % и выше по содержанию основного металла. Примеси Fe, Cu и Pb лимитируются на уровне 1–10 ppm, поскольку они снижают подвижность носителей заряда в оксидной плёнке.
При какой температуре разлагается In(NO)3HO до InO?
Термическое разложение тригидрата начинается при 80–120 C с потерей кристаллизационной воды, полное превращение в оксид индия завершается при 250–400 C. Для формирования кристаллической фазы InO с кубической структурой типа биксбиита рекомендуется отжиг при 400–550 C.
Растворяется ли нитрат индия в органических растворителях?
In(NO)3HO растворим в этаноле, изопропаноле и ацетонитриле, что позволяет готовить плёнкообразующие растворы для спрей-пиролиза без водной фазы. В неполярных растворителях (толуол, гексан) соль не растворяется без применения комплексообразователей, например ацетилацетона.
Как хранить нитрат индия для сохранения стехиометрии?
Гидратированные формы следует хранить в герметичных контейнерах из ПЭНД или ПТФЭ при 15–25 C и относительной влажности не выше 60 %. Контакт с восстановителями, порошками металлов и органическими кислотами недопустим из-за риска экзотермической реакции с выделением NO.
